SE850DUV DUV/VIS/NIR光譜橢偏儀深紫外主要用于研究超薄膜、表面粗糙度,并可研究溫度、應(yīng)力、張力、摻雜、組份、晶態(tài)等對材料禁帶寬度的影響;深紫外也可研究AlGaN, AlN等寬禁帶材料,測量膜厚0-10nm??梢姽饪蓽y量折射率梯度。近紅外使用FTIR,測量時間短(全光譜、多角度測量可在10分鐘內(nèi)完成),具有自?